薄膜太陽電池向け統合処理装置

薄膜太陽電池用レーザー集積加工システム

構造上の特徴

FCC-05シリーズレーザー統合加工システムは、薄膜太陽電池の研究開発および製造向けに設計された最先端のデュアル光路プラットフォームです。主要コンポーネントは以下のとおりです。

• デュアルレーザー構成: ファイバーナノ秒レーザーと超高速パルスレーザー (波長オプション: 1064nm/532nm/355nm) を統合し、多様な処理を実現します。

• 精密メカニクス: マルチモード位置決めテクノロジーにより、<30μm の特徴解像度と ±5μm の位置決め精度で 500mm×500mm (最大) の加工領域を実現します。

• モジュラー統合: 自動制御システム、高速光処理ユニット、マシンビジョンアライメントシステムをコンパクトで安定したフレームに統合します。

• 独自のソフトウェア: カスタマイズ可能なプロセス ワークフローを実現する直感的な ヒューマンマシンインターフェース を備えた自社開発の制御ソフトウェアを備えています。

主な革新技術としては、同期デュアルビーム処理により実現される同時 P1/P2/P3 レーザー スクライビングと P4 エッジ分離機能があり、これは薄膜太陽電池の製造にとって決定的な利点です。

製品の利点

1. 比類のない安定性:

• 高度なモーション コントロール ハードウェア (リニア エンコーダ、振動減衰ステージなど) により、高スループット環境でも 24 時間 365 日の動作信頼性が保証されます。

• シームレスなサブシステム統合によりダウンタイムが最小限に抑えられます。

2. プロセスの柔軟性:

• 波長切り替え機能 (IR/可視/紫外線) は、さまざまな薄膜材料 (CIGS、カドミウムテルル、ペロブスカイト) に適応します。

• 独自のソフトウェアによるプログラム可能なパラメータ (パルス幅、エネルギー、オーバーラップ) により、R&D グレードの調整が可能になります。

3. 精密エンジニアリング：

• マルチセンサー フィードバック (CCD アライメント、レーザー干渉計) により、重要なスクライビング タスクにおいて 5μm 未満の再現性を保証します。

• ダイナミックフォーカスコントロールにより、凹凸のある基板でも一貫性が維持されます。

4. 未来を見据えたデザイン:

• インダストリー 4.0 統合のための 人工知能 駆動型プロセス最適化と IoT 接続をサポートします。

製品アプリケーション

主な用途:

• 薄膜太陽電池の研究開発：以下を含む小型太陽電池モジュールのプロセス開発を加速します。

• P1-P4 パターン形成 (透明導電性酸化物、吸収体、バックコンタクト層)。

• 熱による損傷を最小限に抑えたエッジ分離 (熱影響部 <50μm)。

• パイロット生産: ラボスケールと大量生産の橋渡しとして機能し、次のことを実現します。

• 新しい材料（例：ペロブスカイトタンデムセル）のプロセス検証。

• 高歩留まりのプロトタイピング（最大 98% のスクライビング精度）。

• 品質管理:

• 統合された画像システムによるインライン欠陥検出。

• 非接触処理により、壊れやすい基板への機械的ストレスが排除されます。

業界への影響: このシステムは、薄膜太陽電池の製造における主要な課題 (スループットのボトルネック、層の位置合わせエラー、エッジの再結合損失) に対処しながら、従来のマルチステップ システムと比較して製造コストを最大 20% 削減します。