スタイラスプロファイロメーター：超高精度接触表面計測装置
動作原理
触針式形状測定装置は、ダイヤモンドチップのプローブと試料表面との直接的な物理的接触によって動作します。触針が試料表面を移動すると、微細な凹凸が垂直方向の変位を引き起こし、センサーによって電気信号に変換されます。これらの信号は、測定ブリッジ、増幅、位相感応整流、フィルタリングを経て処理され、触針の動きに比例した緩やかな出力が生成され、表面形状が再構成されます。
機器の特徴
1. 高精度
サブオングストロームの垂直分解能（≤0.1 ナノメートル）
ミクロンからナノメートルスケールまでの高さの変化を測定
包括的なデータを取得：地形、粗さ、波状性
2. 優れた安定性
高い再現性（σ < 0.5% @ 1μmステップ）
微妙な地形の詳細を再現可能な測定で
3. ユーザーフレンドリーな操作
オプションのカラービジョンナビゲーションシステム
迅速なチップ交換を可能にする磁気プローブ技術（<30秒）
自動水平調整機能とキャリブレーションモジュールを備えた直感的なソフトウェア
4. 多機能
段差、膜厚、粗さ、応力などを測定します。
マルチゾーンおよび3Dスキャンモードをサポート
統合SPC統計解析（例：CP/Cpk計算）
応用分野
半導体産業
薄膜段差測定（PVD/CVD層）
フォトレジストプロファイル特性評価
エッチング速度の定量化
CMP（化学機械研磨）モニタリング
太陽光発電
太陽電池のコーティング厚さ分析
エッチング後の段差測定
ペロブスカイト/CIGSセルの性能最適化
